ナノを測る―先端表面分析技術―

担当	大型設備基盤センター
日程	平成23年8月26日（金）13：30～16：00
担当講師	大型設備基盤センター教職員
対象者	企業のエンジニア・表面分析に関心を持つ一般市民
募集人数	30人
会場	名古屋工業大学　22-225（22号館225号室大型設備基盤センター会議室）
講習料	無料
受付期間	講座開始日の5日前まで

概要

ナノサイエンス・ナノテクノロジーで用いられる先端的表面分析技術について講義する。

表面分析装置は、金属、半導体、セラミックス等様々な材料やデバイス表面の元素分析、微量不純物分析、形状分析、結合状態分析等において利用される。
例えば、我が国の重要な研究分野として挙げられる低炭素社会実現やエネルギー・資源の安定供給に向けた研究開発を推進する上で、表面分析装置は、太陽電池材料や燃料電池材料等のエネルギー材料開発に広く利用できる。

ここでは事例を交えながらナノレベルでの表面分析とそれを行う計測分析装置を解説する。
あわせて、観察のデモンストレーション、操作体験、ならびに大型設備基盤センターが管理する表面分析装置の見学も行う。

プログラム

時間	テーマ
13：30～13：40	大型設備基盤センターの紹介
13：40～15：00	表面分析―装置と事例― 表査電子顕微鏡（SEM）ナノ走査プローブ顕微鏡（SPM）電子プローブマイクロアナライザー（EPMA）オージェ電子分光分析装置（AES）二次イオン質量分析装置（SIMS） X 線光電子分光装置（ESCA）
15：00～16：00	装置見学会（観察デモ、操作体験を含む）

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