泉　隼人

機械工学の視点からMEMSやソフト電子デバイスを社会で安全に運用するための研究課題に取り組んでいます。MEMSは機械構造と電気回路の異なる要素を統合した機械システムです。近年は「折りたたむ」ディスプレイのように柔軟性をもつ電子機器も製品化されるようになりました。MEMS、ソフト電子デバイスともに、構造材料に引張圧縮や曲げによる物理的な負荷や変形を利用することで、製品に高付加価値を持たせています。一方で、従来のLSI (集積回路)とは性質が異なることから、(繰返し)負荷に対するデバイスの電気的機械的な信頼性や評価手法は十分に確立されていません。

研究では、材料の変形・破壊の力学、有限要素法解析、材料試験方法や試験機開発、疲労特性、寿命予測、電子顕微鏡観察による破壊解析等を扱いながら、デバイスや電子材料の信頼性評価に従事しています。この研究を通じて、MEMSやソフト電子デバイスの高機能化や長寿命化につながる材料設計や強度設計の指針を探りたいと考えています。