木村　高志

プラズマは気体にエネルギーを与えて、気体の一部をイオンと電子に分離（電離）させた状態で、固体・液体・気体に続く物質の状態とも呼ばれています。電気エネルギー供給による放電により人工的に低温のプラズマをつくり、材料の表面を加工したり、新しい機能性材料を合成したりするプラズマを用いた材料プロセス技術の確立に取り組んでいます。
プラズマ材料プロセスの中でも、「スパッタリング」という技術を用いた機能性薄膜の基材へのコーティングに関する研究を中心に進めています。硬質保護材料薄膜や金属酸化膜の高機能化を実現するため、パルス的に高電力を投入して高密度スパッタプラズマをつくり、薄膜材料を構成する原子・分子をイオンに変えコーティングする手法などに取り組んでいます。さらに、マルチパルススパッタプラズマを利用し、より高効率で持続可能なスパッタ方式の材料作製技術の開発を目指しています。