電気・機械工学科の大野智暉さん、熊澤温志さん、六厩賢星さんが日本機械学会東海支部 第57回学生員卒業研究発表講演会 Best Presentation Awardを受賞しました
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2026年3月26日掲載
受賞者
電気・機械工学科 (玉野・武藤研究室)
大野智暉
熊澤温志
六厩賢星
受賞名
日本機械学会東海支部 第57回学生員卒業研究発表講演会 TOKAI ENGINEERING COMPLEX 2026 (TEC26)
Best Presentation Award
受賞の内容
大野智暉「半導体洗浄装置およびディスペンサーにおける液滴飛翔挙動の調査研究」
近年、半導体素子の微細化に伴い、より高度な洗浄技術が求められています。しかし、枚葉式洗浄装置においてウエハー端から飛翔する液滴の挙動については、十分に解明されていません。本研究では、枚葉式洗浄装置から飛翔する液滴の直径および速度などの特徴量の分布に関して調査を行いました。さらに、ディスペンサーおよび電磁弁を用いた単一液滴の飛翔実験を行い、ウエハー端から飛翔する液滴の特徴量を再現できる可能性について検討しました。
熊澤温志「半導体洗浄装置内で飛翔する液滴の変形に関する数値シミュレーション」
半導体製造工程におけるウエハー洗浄では、洗浄装置内の流動挙動がウォーターマーク形成に影響を及ぼすことが知られています。しかし、洗浄中にウエハー端部から飛翔する液滴の挙動については十分に解明されていません。本研究では、ウエハー端部から飛翔する液滴に着目し、格子解像度および界面捕捉ソルバーを変更した数値計算を実施しました。その結果、飛翔液滴の挙動を再現するために必要な計算条件を整理し、提案しました。
六厩賢星「ステントの引き抜きが模擬血管に与える応力場の定量評価に向けた高速度光弾性法の開発」
脳血管が血栓によって閉塞される脳梗塞に対する治療法として、近年、ステントリトリーバーを用いて、物理的に血栓を除去する手法が注目されています。しかし、血栓除去時に血管壁へ作用する応力によって合併症が発生するという課題があります。本研究では、血栓除去時の血管応力場の可視化を目的として、模擬血管を用いた高速度光弾性計測を実施しました。さらに、得られたデータに三次元再構成を適用することで、三次元的な応力分布の可視化を実現しました。
受賞者のコメント
大野智暉さん
この度は、Best Presentation Awardを受賞することができ、大変光栄に思います。本発表を迎えるにあたり、指導教員である玉野真司教授、武藤真和助教をはじめ、研究室の皆様には多くのご助言、ご協力を賜りました。この場をお借りして、心より感謝申し上げます。また、共同研究先である株式会社SCREENホールディングスの皆様には、本研究の遂行にあたり多大なるご協力と貴重なご助言を頂きました。この度の受賞を励みとして、より一層研究活動に取り組みたいと考えております。
熊澤温志さん
この度は、Best Presentation Award を受賞することができ、大変光栄に存じます。本研究を進めるにあたり、指導教員である玉野真司教授および武藤真和助教をはじめ、仁村友洋特任助教および研究室の皆様から多くのご指導とご助言を賜りました。また、共同研究先である株式会社SCREENホールディングスの皆様には、本研究の遂行にあたり多大なるご協力と貴重なご助言を頂きました。この場をお借りして、心より感謝申し上げます。本受賞を励みとして、今後も研究活動に一層精進してまいります。
六厩賢星さん
この度は、Best Presentation Awardを受賞することができ、大変光栄に思います。指導教員である武藤真和助教および玉野真司教授、名古屋市立大学 脳神経外科学 西川祐介講師、研究室の皆様には貴重なご意見とご協力を賜りました。この場をお借りして、心より感謝申し上げます。この度の受賞を励みとして、より一層研究活動に取り組みたいと考えております。
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