受賞者

工学専攻創造工学プログラム　（星 芳直研究室）

浅野 弘靖

受賞名

電気化学会第89回大会 優秀学生講演賞

（電気化学会第89回大会）

受賞の内容

「銀粒子を用いたシリコンの金属触媒エッチングに対する電気化学インピーダンス解析」

半導体デバイスの性能向上において、高精度かつ簡易的な半導体材料表面の微細加工技術の開発が不可欠です。銀粒子を用いた金属触媒エッチングは、銀粒子を担持したシリコンを電解液中に浸漬することで自発的に発現する触媒反応によりシリコンナノワイヤーを形成する手法として注目されていますが、「なぜシリコンナノワイヤーになるのか？」は解明されていません。本研究では、この現象に対して電気化学インピーダンス法を適用し、自発的に発現する触媒反応の進行をin-situモニタリングすることで、シリコンナノワイヤー形成過程の解析に成功しました。

今後の抱負

この度は素晴らしい賞をいただくことができ、大変光栄に思います。「腐食科学」と「半導体科学」の異分野融合による研究への挑戦は、困難な点が数多くありました。その中で今回の受賞は、常日頃からご指導いただいた指導教員である星芳直准教授や加藤慎也助教はじめ、研究室の皆さまのサポートによるものであり、心より感謝申し上げます。この受賞を励みとし、今後より一層研究活動に邁進したいと思います。